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舟型晶圆周转盒

舟型晶圆周转盒

舟型晶圆盒是承载晶圆的周转容器,使用在厂内站点运输或出货用途,不同的颜色使用,方便在制程上分站管理,有效的提高生产质量。
多种颜色可供选择有利于制程区分。
多种材料可供选择应对不同的抗化学性能要求。
晶圆尺寸 材料 表面电阻 内部直径
4″ (100mm) Antistatic PP/PVDF 10E4Ω-10E11Ω 102mm
6″ (150mm) Antistatic PP/PVDF 10E4Ω-10E11Ω 152mm
8″ (200mm) Antistatic PP/PVDF 10E4Ω-10E11Ω 202mm
12″(300mm) Antistatic PP/PVDF 10E4Ω-10E11Ω 302mm