您现在的位置:首页 > 产品中心 > 立式放置晶圆盒

立式放置晶圆盒

立式放置晶圆盒

上盖内的弹片设计能有效避免晶圆转动,防止晶圆破损,以及减少微尘产生。
组合设计有效防止卡槽运输中移动,给晶圆运输过程中提供有效保护。
优化产品设计的同时,又有效降低産品重量。
设计符合制程设备自动接口。
晶圆尺寸 材料 表面电阻 内部直径
3″ (75mm) Ultra Clean PP N/A 75mm
4″ (100mm) Ultra Clean PP N/A 100mm
6″ (150mm) Ultra Clean PP N/A 150mm
8″ (200mm) Ultra Clean PP N/A 200mm
立式放置晶圆盒
舟型晶圆盒是承载晶圆的周转容器,使用在厂内站点运输或出货用途,不同的颜色使用,方便在制程上分站管理,有效的提高生产质量。
多种颜色可供选择有利于制程区分。
多种材料可供选择应对不同的抗化学性能要求。
晶圆尺寸 材料 表面电阻 内部直径
4″ (100mm) Antistatic PP/PVDF 10E4Ω-10E11Ω 102mm
6″ (150mm) Antistatic PP/PVDF 10E4Ω-10E11Ω 152mm
8″ (200mm) Antistatic PP/PVDF 10E4Ω-10E11Ω 202mm
12″(300mm) Antistatic PP/PVDF 10E4Ω-10E11Ω 302mm