上盖内的弹片设计能有效避免晶圆转动,防止晶圆破损,以及减少微尘产生。
组合设计有效防止卡槽运输中移动,给晶圆运输过程中提供有效保护。
优化产品设计的同时,又有效降低産品重量。
设计符合制程设备自动接口。
晶圆尺寸 |
材料 |
表面电阻 |
内部直径 |
3″
(75mm) |
Ultra Clean PP |
N/A |
75mm |
4″
(100mm) |
Ultra Clean PP |
N/A |
100mm |
6″
(150mm) |
Ultra Clean PP |
N/A |
150mm |
8″
(200mm) |
Ultra Clean PP |
N/A |
200mm |
舟型晶圆盒是承载晶圆的周转容器,使用在厂内站点运输或出货用途,不同的颜色使用,方便在制程上分站管理,有效的提高生产质量。
多种颜色可供选择有利于制程区分。
多种材料可供选择应对不同的抗化学性能要求。
晶圆尺寸 |
材料 |
表面电阻 |
内部直径 |
4″
(100mm) |
Antistatic PP/PVDF |
10E4Ω-10E11Ω |
102mm |
6″
(150mm) |
Antistatic PP/PVDF |
10E4Ω-10E11Ω |
152mm |
8″ (200mm) |
Antistatic PP/PVDF |
10E4Ω-10E11Ω |
202mm |
12″(300mm) |
Antistatic PP/PVDF |
10E4Ω-10E11Ω |
302mm |