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立式放置晶圆盒

立式放置晶圆盒

上盖内的弹片设计能有效避免晶圆转动,防止晶圆破损,以及减少微尘产生。
组合设计有效防止卡槽运输中移动,给晶圆运输过程中提供有效保护。
优化产品设计的同时,又有效降低産品重量。
设计符合制程设备自动接口。
晶圆尺寸 材料 表面电阻 内部直径
3″ (75mm) Ultra Clean PP N/A 75mm
4″ (100mm) Ultra Clean PP N/A 100mm
6″ (150mm) Ultra Clean PP N/A 150mm
8″ (200mm) Ultra Clean PP N/A 200mm
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