上盖内的弹片设计能有效避免晶圆转动，防止晶圆破损，以及减少微尘产生。
组合设计有效防止卡槽运输中移动,给晶圆运输过程中提供有效保护。
优化产品设计的同时，又有效降低産品重量。
设计符合制程设备自动接口。
| 晶圆尺寸 |
材料 |
表面电阻 |
内部直径 |
| 3″
（75mm） |
Ultra Clean PP |
N/A |
75mm |
| 4″
（100mm） |
Ultra Clean PP |
N/A |
100mm |
| 6″
（150mm） |
Ultra Clean PP |
N/A |
150mm |
| 8″
（200mm） |
Ultra Clean PP |
N/A |
200mm |
