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隔离环

隔离环

采用双面设计,使用时不分方向,确保操作简单快捷。
隔离环仅与晶圆周边接触,确保不对晶圆表面産生划痕,给晶圆运输过程中提供有效保护。
环形隔离圈(片)的表面蚀纹设计,以有效避免与晶圆的附着力。
晶圆尺寸 材料 表面电阻 内部直径 厚度
6″ (150mm) Antistatic PP 10E4Ω-10E11Ω 150mm 1.2mm
8″ (200mm) Antistatic PP 10E4Ω-10E11Ω 200mm 1.2mm
12″(300mm) Antistatic PP 10E4Ω-10E11Ω 300mm 3.5mm