采用双面设计,使用时不分方向,确保操作简单快捷。
隔离环仅与晶圆周边接触,确保不对晶圆表面産生划痕,给晶圆运输过程中提供有效保护。
环形隔离圈(片)的表面蚀纹设计,以有效避免与晶圆的附着力。
晶圆尺寸 |
材料 |
表面电阻 |
内部直径 |
厚度 |
6″
(150mm) |
Antistatic PP |
10E4Ω-10E11Ω |
150mm |
1.2mm |
8″ (200mm) |
Antistatic PP |
10E4Ω-10E11Ω |
200mm |
1.2mm |
12″(300mm) |
Antistatic PP |
10E4Ω-10E11Ω |
300mm |
3.5mm |