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隔离片/隔离纸

隔离片/隔离纸

晶圆隔离纸采用美国杜邦Tyvek paper 隔离纸。
独特的表面光滑度,无磨擦,防静电,PH值中性,不掉屑,强韧耐用。
不会增加晶圆的读取错误。
晶圆尺寸 材料 表面电阻 内部直径 厚度
4″(100mm)  Tyvek paper 10E6Ω-10E11Ω 100mm 0.14-0.22mm
5″ (125mm)  Tyvek paper 10E6Ω-10E11Ω 125mm 0.14-0.22mm
6″ (150mm)  Tyvek paper 10E6Ω-10E11Ω 150mm 0.14-0.22mm
8″ (200mm)  Tyvek paper 10E6Ω-10E11Ω 200mm 0.14-0.22mm
12″ (300mm)  Tyvek paper 10E6Ω-10E11Ω 300mm 0.14-0.22mm
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