隔离片/隔离纸
晶圆隔离纸采用美国杜邦Tyvek paper 隔离纸。
独特的表面光滑度，无磨擦，防静电，PH值中性，不掉屑，强韧耐用。
不会增加晶圆的读取错误。
| 晶圆尺寸 | 材料 | 表面电阻 | 内部直径 | 厚度 |
| 4″（100mm） | Tyvek paper | 10E6Ω-10E11Ω | 100mm | 0.14-0.22mm |
| 5″ （125mm） | Tyvek paper | 10E6Ω-10E11Ω | 125mm | 0.14-0.22mm |
| 6″ （150mm） | Tyvek paper | 10E6Ω-10E11Ω | 150mm | 0.14-0.22mm |
| 8″ （200mm） | Tyvek paper | 10E6Ω-10E11Ω | 200mm | 0.14-0.22mm |
| 12″ （300mm） | Tyvek paper | 10E6Ω-10E11Ω | 300mm | 0.14-0.22mm |