上下盖内环设计有效减少晶圆横向移动，同时确保不会压到晶圆边缘。

锁扣安全系统和内环抗冲击空间设计，给晶圆运输过程中提供有效保护。

优化产品设计的同时，又有效降低産品重量。

设计符合制程设备自动接口。