盖内的弹片设计能有效避免绷框移动,防止晶圆破损,以及减少微尘产生。
结构强化设计能有效增加产品抗冲击强度和寿命。
轻量化设计能降低产品制造成本和运输成本。
提供超洁净PP和抗静电PP两种材料可选。
晶圆尺寸 |
材料 |
表面电阻 |
内部直径 |
6″(150mm) |
Ultra Clean PP |
N/A |
150mm |
6″(150mm) |
Antistatic PP |
10E4Ω-10E11Ω |
150mm |
8″(200mm) |
Ultra Clean PP |
N/A |
200mm |
8″(200mm) |
Antistatic PP |
10E4Ω-10E11Ω |
200mm |
12″(300mm) |
Ultra Clean PP |
N/A |
300mm |
12″(300mm) |
Antistatic PP |
10E4Ω-10E11Ω |
300mm |