上下盖配合设计,方便操作者开启,同时确保运输中不会脱出。
盒内采用泡棉加隔离片包装方式,提高産品防震能力,给晶圆运输过程中提供有效保护。
优化产品设计同时,又有效降低産品重量。
提供超洁净PP和抗静电PP两种材料可选。
晶圆尺寸 |
材料 |
表面电阻 |
内部直径 |
内部高度 |
4″
(100mm) |
Ultra Clean PP |
N/A |
111mm |
32mm |
4″
(100mm) |
Antistatic PP |
10E4Ω-10E11Ω |
111mm |
32mm |
5″
(125mm) |
Ultra Clean PP |
N/A |
142mm |
38mm |
5″
(125mm) |
Antistatic PP |
10E4Ω-10E11Ω |
142mm |
38mm |
6″
(150mm) |
Ultra Clean PP |
N/A |
167mm |
38mm |
6″
(150mm) |
Antistatic PP |
10E4Ω-10E11Ω |
167mm |
38mm |
8″
(200mm) |
Ultra Clean PP |
N/A |
235mm |
51mm |
8″
(200mm) |
Antistatic PP |
10E4Ω-10E11Ω |
235mm |
51mm |