单片水平晶圆盒
上盖标识开关方向，便于使用者装载或取出晶圆。
上下盖采用扣位配合设计方案，有效避免了运输过程中上盖脱出问题。
盖内的弹片设计能有效避免晶圆移动，防止晶圆破损，以及减少微尘产生。
提供超洁净PP和抗静电PP两种材料可选。
| 晶圆尺寸 | 材料 | 表面电阻 | 内部直径 |
| 3″（75mm） | Ultra Clean PP | N/A | 75mm |
| 3″（75mm） | Antistatic PP | 10E4Ω-10E11Ω | 75mm |
| 4″（100mm） | Ultra Clean PP | N/A | 100mm |
| 4″（100mm） | Antistatic PP | 10E4Ω-10E11Ω | 100mm |
| 6″（150mm） | Ultra Clean PP | N/A | 150mm |
| 6″（150mm） | Antistatic PP | 10E4Ω-10E11Ω | 150mm |
| 8″ （200mm） | Ultra Clean PP | N/A | 200mm |
| 8″ （200mm） | Antistatic PP | 10E4Ω-10E11Ω | 200mm |
| 12″（300mm） | Ultra Clean PP | N/A | 300mm |
| 12″（300mm） | Antistatic PP | 10E4Ω-10E11Ω | 300mm |
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