水平放置晶圆盒
上下盖内环设计有效减少晶圆横向移动，同时确保不会压到晶圆边缘。
锁扣安全系统和内环抗冲击空间设计，给晶圆运输过程中提供有效保护。
优化产品设计的同时，又有效降低産品重量。
设计符合制程设备自动接口。
| 晶圆尺寸 | 材料 | 表面电阻 | 内部直径 | 内部高度 |
| 6″ （150mm） | Antistatic PP | 10E4Ω-10E11Ω | 151mm | 44mm |
| 8″ （200mm） | Antistatic PP | 10E4Ω-10E11Ω | 201mm | 44mm |
| 12″ （300mm） | Antistatic PP | 10E4Ω-10E11Ω | 301mm | 71mm |