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水平放置晶圆盒

水平放置晶圆盒

上下盖内环设计有效减少晶圆横向移动,同时确保不会压到晶圆边缘。
锁扣安全系统和内环抗冲击空间设计,给晶圆运输过程中提供有效保护。
优化产品设计的同时,又有效降低産品重量。
设计符合制程设备自动接口。
晶圆尺寸 材料 表面电阻 内部直径 内部高度
6″ (150mm) Antistatic PP 10E4Ω-10E11Ω 151mm 44mm
8″ (200mm) Antistatic PP 10E4Ω-10E11Ω 201mm 44mm
12″ (300mm) Antistatic PP 10E4Ω-10E11Ω 301mm 71mm
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