晶圆尺寸 | 材料 | 表面电阻 | 内部直径 | 内部高度 |
4″ (100mm) | Ultra Clean PP | N/A | 111mm | 32mm |
4″ (100mm) | Antistatic PP | 10E4Ω-10E11Ω | 111mm | 32mm |
5″ (125mm) | Ultra Clean PP | N/A | 142mm | 38mm |
5″ (125mm) | Antistatic PP | 10E4Ω-10E11Ω | 142mm | 38mm |
6″ (150mm) | Ultra Clean PP | N/A | 167mm | 38mm |
6″ (150mm) | Antistatic PP | 10E4Ω-10E11Ω | 167mm | 38mm |
8″ (200mm) | Ultra Clean PP | N/A | 235mm | 51mm |
8″ (200mm) | Antistatic PP | 10E4Ω-10E11Ω | 235mm | 51mm |