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单片晶圆包装盒

单片晶圆包装盒

上盖标识开关方向,便于使用者装载或取出晶圆。
上下盖采用扣位配合设计方案,有效避免了运输过程中上盖脱出问题。
盖内的弹片设计能有效避免晶圆移动,防止晶圆破损,以及减少微尘产生。
提供超洁净PP和抗静电PP两种材料可选。
晶圆尺寸 材料 表面电阻 内部直径
3″(75mm) Ultra Clean PP N/A 75mm
3″(75mm) Antistatic PP 10E4Ω-10E11Ω 75mm
4″(100mm) Ultra Clean PP N/A 100mm
4″(100mm) Antistatic PP 10E4Ω-10E11Ω 100mm
6″(150mm) Ultra Clean PP N/A 150mm
6″(150mm) Antistatic PP 10E4Ω-10E11Ω 150mm
8″ (200mm) Ultra Clean PP N/A 200mm
8″ (200mm) Antistatic PP 10E4Ω-10E11Ω 200mm
12″(300mm) Ultra Clean PP N/A 300mm
12″(300mm) Antistatic PP 10E4Ω-10E11Ω 300mm
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