上盖标识开关方向,便于使用者装载或取出晶圆。
上下盖采用扣位配合设计方案,有效避免了运输过程中上盖脱出问题。
盖内的弹片设计能有效避免晶圆移动,防止晶圆破损,以及减少微尘产生。
提供超洁净PP和抗静电PP两种材料可选。
晶圆尺寸 |
材料 |
表面电阻 |
内部直径 |
3″(75mm) |
Ultra Clean PP |
N/A |
75mm |
3″(75mm) |
Antistatic PP |
10E4Ω-10E11Ω |
75mm |
4″(100mm) |
Ultra Clean PP |
N/A |
100mm |
4″(100mm) |
Antistatic PP |
10E4Ω-10E11Ω |
100mm |
6″(150mm) |
Ultra Clean PP |
N/A |
150mm |
6″(150mm) |
Antistatic PP |
10E4Ω-10E11Ω |
150mm |
8″ (200mm) |
Ultra Clean PP |
N/A |
200mm |
8″ (200mm) |
Antistatic PP |
10E4Ω-10E11Ω |
200mm |
12″(300mm) |
Ultra Clean PP |
N/A |
300mm |
12″(300mm) |
Antistatic PP |
10E4Ω-10E11Ω |
300mm |