晶圆尺寸 | 材料 | 表面电阻 | 内部直径 | 厚度 |
6″ (150mm) | PPS | N/A | 195mm | 2.5mm |
6″ (150mm) | Antistatic PPS | 10E4Ω-10E11Ω | 195mm | 2.5mm |
8″ (200mm) | PPS | N/A | 250mm | 2.5mm |
8″ (200mm) | Antistatic PPS | 10E4Ω-10E11Ω | 250mm | 2.5mm |
12″ (300mm) | PPS | N/A | 350mm | 3.5mm |
12″ (300mm) | Antistatic PPS | 10E4Ω-10E11Ω | 350mm | 3.5mm |