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绷环

绷环

采用PPS纤维材料,提供足够的强度及韧性支撑蓝膜承载晶圆。
贴附蓝膜的表面有作镜面处理,确保蓝膜贴附无汽泡,不脱落,给晶圆运输过程中提供有效保护。
晶圆尺寸 材料 表面电阻 内部直径 厚度
6″ (150mm) PPS N/A 195mm 2.5mm
6″ (150mm) Antistatic PPS 10E4Ω-10E11Ω 195mm 2.5mm
8″ (200mm) PPS N/A 250mm 2.5mm
8″ (200mm) Antistatic PPS 10E4Ω-10E11Ω 250mm 2.5mm
12″ (300mm) PPS N/A 350mm 3.5mm
12″ (300mm) Antistatic PPS 10E4Ω-10E11Ω 350mm 3.5mm